FLS 106 IC 扫描仪是一个 4 轴定位系统, ICR 近场探头可以在三个线性轴上移动,在 IC 上方的一个轴上旋转。 ICR 近场探头可以测量高达 6 GHz 的高频磁场或电场,测量分辨率达 50- 100 µm。
主要技术参数:
- 电源电压:110V/230V
- 扫描范围:(400*600m*120)mm/α-旋转±180°
- 定位精度:(20*20*20)μm/α-旋转1°
- 定位速度:(20*25*10)mm/s/α-旋转90°/s
- 接口:USB
- 重量:75kg
- 尺寸:(1030*775*900)mm